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耐磨板的热处理工艺对组织结构影响：随着超大规模集成电路的特征线宽不断减小,导致信号传输延时、功耗增大以及互连阻容耦合增大等问题,为了解决这一问题,多孔低(超低)k介电材料越来越引起人们的注意。通过在前驱气体D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉积技术制备出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工艺及后道工艺中,薄膜需要经受400～450℃的热冲击,因此首先对不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的结构、表面形貌和湿水性进行了研究。在真空热处理过程中,热稳定性较差的碳氢基团发生了热解吸,使Si-O-Si网络结构以及链式结构发生交联而形成鼠笼结构,从而提高了薄膜中孔隙的含量,并使薄膜表面更平整。但是,由于碳氢基团的热解吸以及结构的重组降低了薄膜的厚度,并且热解吸还导致薄膜的疏水性能降低。其次真空热处理降低了薄膜的漏电流,并且使SiCOH/Si界面的界面态发生改变。
NM400耐磨板在500一650℃进行．得到回火索氏体组织，具有较高的强度和韧性相配合的综合力学性能。生产中把淬火后再进行高温回火的处理称为调质处理。调质处理主要用于各种重要的结构零件，使耐磨板的强度、塑性、韧性达到恰当的配合，具有良好的综合力学性能。特别是在交变载荷下工作的连杆、螺栓、螺母、曲轴和齿轮等零件。调质处理还可作为某些精密零件，如丝杠、量具、模具等的预备热处理，以减少终处理过程中的变形。调质钢调质处理后的硬度为25一35HRC。
NM400耐磨板回火时的组织转变与正火相比．在相同的硬度下，强度、塑性和韧性均显著高于正火状态。因此，重要构件般均用调质处理。调质还常作为表面强化件的预备热处理。
耐磨板的发展趋势和类型
作为当今工业发展潮流的趋势，耐磨板的出现也是为了满足当前工业生产中出现的需求缺口而产生的一个产品，但是也随着当前工业水平的不断提高，对耐磨板的要求也不断的增加，要求耐磨板拥有着更高更强的耐磨性。
而不仅仅是一个产品的使用周期仅仅不到一个月，在这种大潮流的趋势驱使之下，当前世界范围内性能比较优异的耐磨板通常分为了瑞典的悍达耐磨板、德国的XAR系列耐磨板、法国的CREUS-ABRO耐磨板、日本的NK-EH耐磨板以及国产NM（360、400）耐磨板系列。
耐磨板
耐磨板的寿命优势
与此同时，由于机械设备耐磨部位的传统的普通钢板已经不能满足寿命的要求,而更为耐磨的铸造合金由于厚度空间的制约,特别是不能像钢板那样可以方便地焊接和冷加工成型限制了应用。耐磨钢板恰好可以像钢那样焊接和加工成型,同时还具有一定的耐磨性。所谓耐磨钢板就是用于耐磨的低合金钢板,它是在普碳钢的基础上加入2%～ 3%合金以提高其淬透性和淬硬性,通过淬火回火即调质处理,获得马氏体或贝氏体组织,从而获得较高的硬度以抵抗磨损。一般选择Cr,Ni,Mo,Mn,Si,V,Ti,Cu,B等作为合金元素。
耐磨钢板与普碳钢板相比,由于耐磨钢板硬度较高,比之普通钢板能够有效地抵御磨料磨损,因而具有比普通钢板高的耐磨性。耐磨钢板一般都尽可能地控制碳当量(CET),目的是为了获得较好的焊接性能。一般来说当碳当量大于0.35%时焊接时需要预热,特别是对于厚度较大的钢板更是要进行预热。
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