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的抽速，但不可以抽氦，而三极型溅射正离子泵，(或二极型非对称加密阴极溅射正离子泵)对氩有必须的抽速，二者组成起來，便会使真空泵设备获得不错的真空度。另一个，有的机械泵不可以在大气压力下工作中，必须预真空泵;有的机械泵出口值气体压强小于大气压力，必须后级泵，故都必须把泵组成起來应用。 5、真空设备对油环境污染的规定。若机器设备严格管理隔膜真空泵时，应当选各种各样无启动马达，如：水环泵、碳分子筛吸咐泵、溅射正离子泵、低温泵等。要是规定不严苛，能够挑选有启动马达，再加某些抗油环境污染对策，如加冷阱、障板、挡油阱等，也可以超过清理真空泵规定。6、知道被抽汽体成份，汽体中含可含可凝蒸汽，有没有颗粒物尘土，有没有腐蚀等。挑选机械泵时，必须了解汽体成份，对于被抽汽体挑选相对的泵。要是汽体中带有蒸汽、颗粒物、及腐蚀汽体，应当考虑到在泵的进风口管道上安裝輔助机器设备，如冷却器、除尘设备等。 7、机械泵排出去的油蒸汽对自然环境的危害怎样。要是自然环境不容许有环境污染，能够选无油真空泵，或是把油蒸汽排在户外。 8、机械泵工作中时造成的震动对加工工艺全过程及自然环境有没有危害。若加工工艺全过程不容许，应挑选无震动的泵或是采用防震动对策。风机型号应关心
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